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- 실험내용
제품특성/기능
진공 방전관을 만들어 진공 정도에 따라 또는 내부에 주입되는 가스에 따라 변화하는 방전상태를 관찰한다.
제품규격
구성품 | 규격 | 모델명 | 수량 |
진공 방전 시스템 | 1400 x 1000 x 500mm | SG-DIS2-1 | 1EA |
진공 펌프 | 0.001 Torr | SG-6211N-2 | 1EA |
진공 방전 튜브 | 내압 5000V,Ø 25mm, 길이 450mm | SG-DIS2-2 | 1EA |
아르곤 가스 | Argon 가스 | SG-DIS2-3 | 1EA |
고전압 파워 | AC/DC 5000V, 10mA (최대) | SG-6211N-4 | 1EA |
피라니 게이지 | 0.001 Torr | SG-6211N-5 | 1EA |
MFC컨트롤러 | 진공 방전 튜브 내로의 가스유입량을 컨트롤 | SG-DIS2-4 | 1EA |
옵션/악세서리
실험내용
- 진공도에 따른 방전 현상
- 가스 주입에 따른 방전 현상